1.濕（shī）電子化學品廢氣簡述

濕電（diàn）子化學品，又稱超（chāo）淨高純化學品，是指主（zhǔ）體成（chéng）分純度大於99.99%，雜質（zhì）離子和微粒數符合嚴格要求的化（huà）學（xué）試劑的總稱，主要包括刻蝕液、剝離液、清洗液、顯影液。

近年來，濕電子化學品成為了超大規模集成電路（lù）（IC）製造業深入、快速發展中越來越不可缺少的、支撐其新技術發展的重要輔助材料。因此，它也成為在電子（zǐ）化學品中需求量大幅度增加、產量與技術高速發展的一類產品。濕電子化學品（pǐn）目（mù）前廣泛應（yīng）用在（zài）平板顯示、LED、太陽能電（diàn）池、光磁記錄存儲體產（chǎn）品等領域中，並且在這些新（xīn）型（xíng）應用領域（yù）中發展前景廣闊。但是濕電子（zǐ）化學品在（zài）生產過程產生氯化氫、氮氧化物、醋酸、VOCs等廢（fèi）氣汙染物，這些（xiē）廢氣汙染物，如果未經過收集淨（jìng）化處理，直接排放進入大氣（qì）空氣中，不（bú）僅造成（chéng）周邊大氣環境空氣汙染（rǎn），還會（huì）對周邊居民（mín）身體健康有傷害，因此（cǐ），對濕（shī）電子（zǐ）化學品廢氣進行（háng）淨化處理後，達到潔淨空氣排放要求。

2.濕電子化學品廢氣處理方法

濕電子化學品在生產過程產生廢氣主要為氯化氫、氮氧化物、醋酸、VOCs等廢氣（qì）汙染物，對於氯化氫、氮氧化物、醋（cù）酸等酸（suān）性廢氣處理采用間堿洗法即可處理，然而對於VOCs有機廢氣處理方法有很多種，常見主要有活性炭吸附法（fǎ）、燃（rán）燒法、UV光解淨化法，下麵天浩洋（yáng）環保小編詳細介紹濕電子化學品廢氣（qì）處理方法。

2.1酸性廢氣處理方法

集氣罩（zhào）收集酸性廢氣通過管道輸送進入堿洗塔，經廢氣洗滌塔酸堿中和處理後，達到國家排放標準（zhǔn）後排放。

2.2 有機廢氣處理方法

（1）活性（xìng）炭吸附法

活性炭吸附法主要原理就（jiù）是利用多孔（kǒng）固體吸（xī）附劑（活性碳、矽膠（jiāo）、分子篩等）來處理有機廢氣，這樣就能夠通過化學鍵力或者是分子引力（lì）充分吸附有害成分，並且將其吸附在吸附劑的表麵，從（cóng）而達到淨化有機廢氣的目的。吸附法目前主要應用於大（dà）風量、低濃（nóng）度（≤800mg/m3）、無顆粒物（wù）、無粘性物（wù）、常溫的（de）低（dī）濃度有機廢氣淨化處理。

活性炭淨化率高（活性炭（tàn）吸附可達到90%以上），實用遍及，操縱簡單，投資（zī）低。在吸附飽（bǎo）和以後需要（yào）更換新的活性炭，更換活性炭需要費用，替換下來的飽和以後的活性炭（tàn）也是需要（yào）找專業人員進行危廢（fèi）處理，運行費用高。

（2）燃燒法

燃燒法隻在揮發性有（yǒu）機物在高溫及空氣充足的條件下進（jìn）行完全燃（rán）燒（shāo），分解為（wéi）CO2和H2O。燃（rán）燒法適（shì）用於各類有機廢氣，可以分為直接燃燒（shāo）、熱（rè）力燃燒（shāo）和催化燃燒。

排放濃度大於5000mg/m³ 的高濃度（dù）廢氣一般采用直接燃燒法，該方法將VOCs廢氣作（zuò）為燃料進行燃（rán）燒，燃燒溫（wēn）度一般控製在1100℃，處理效率高，可以達到95％一99％。

熱力燃燒法適合於處理濃度在1000—5000 mg/m³ 的廢氣，采用熱力燃燒法，廢氣中VOCs濃度較低，需（xū）要借助其（qí）他燃料或（huò）助燃氣體，熱力燃燒所需（xū）的溫（wēn）度較直接燃燒低，大（dà）約為540—820℃。燃燒法（fǎ）處理VOCs廢氣處理效率高，但VOCs廢氣若含有S、N等元素，燃燒後產生的廢氣直接外排（pái）會導致二次汙染。

通過熱力（lì）燃燒或者催化燃燒法處理（lǐ）有機廢氣（qì），其淨化率是比較（jiào）高的，但是其（qí）投（tóu）資運營成本極高（gāo）。因廢氣排放的點多且分散，很難實現集中收集。燃燒裝置需（xū）要多套且需要很（hěn）大（dà）的占地麵積。熱力燃燒比較適合（hé）24小時連續不斷運行且濃（nóng）度較高而穩定的廢氣工況，不適合間斷性的生產產線工況。催化燃燒的投資和運營費用相對熱（rè）力燃燒較低，但淨化效率也相對較低一些；但貴金屬催化劑容易因為廢氣中的雜質（如硫（liú）化物）等造成中毒失（shī）效，而更換催化劑的費用很高；同時對廢氣進氣條件的控製非常嚴格，否則會造成催（cuī）化燃燒室堵塞而引起（qǐ）安全事故。

（3）UV光解淨化法

UV光解淨化法利用高能UV紫（zǐ）外線（xiàn）光束（shù）分解空氣（qì）中的氧分子產生遊離氧（即活性氧），因遊（yóu）離氧所攜帶正負（fù）電子不平衡所以需與（yǔ）氧分子結合，進（jìn）而產生臭氧，臭氧具有很強的氧化性，通（tōng）過臭氧對有機廢氣、惡臭氣體進行協同光解氧化作用，使有機廢氣、惡臭氣體物（wù）質降解轉（zhuǎn）化成低分子化（huà）合物、CO2和H2O。

UV光解淨化法具有高效（xiào）處（chù）理效率，可達（dá）到95%以上；適應性（xìng）強，可適應中低濃度，大氣量，不同有機廢氣（qì）以及惡臭氣體物質的淨化處理；產品性能（néng）穩定，運行穩定可靠（kào），每天（tiān）可24小時連（lián）續工作；運行成本低，設備耗能低，無需專人管理與維護，隻需作定（dìng）期檢查。UV光解法（fǎ）因采用光解原理，模塊采取隔爆處理，消除了安全隱患，防火、防爆、防腐蝕性能（néng）高（gāo），設備性（xìng）能安（ān）全穩定，特別適用於化工、製藥等防爆要求高的行業。

以上關於濕電子化學品廢氣處理（lǐ）方法（fǎ）介紹，希望可以幫到您，其（qí）實對於濕電子化（huà）學品廢氣（qì）處理，一般是需要根據廢氣的濃度、產生量、廢氣成分、如何收集等方（fāng）麵進行設計收集處（chù）理。如果您有濕電子化學品廢（fèi）氣需要淨化處（chù）理（lǐ），可以（yǐ）隨時撥打400 808 2272電話（huà），谘詢天浩洋環保,為您提供濕電子化學品廢（fèi）氣處理方案及設備。